R116制冷剂（六氟乙烷）

R-116制冷剂，中文名称六氟乙烷，商品名称R-116，是一款特种超低温制冷剂，主要用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂等。

R1166制冷剂用途

R116作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等)，R116同时也是超低温配合冷媒的重要组分。

六氟乙烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R116制冷剂参数