R116（六氟乙烷/全氟乙烷）是一种无色无味、不可燃的惰性气体，主要作为特种超低温制冷剂，应用于-78℃以下的深冷设备（如科研和医用制冷），同时也是复叠式超低温系统中重要的混合冷媒组分。此外，R116在微电子工业中也是用量极大的等离子蚀刻气体，广泛应用于半导体刻蚀和器件表面清洗。
