R14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
超低温R14用途
R14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等)，R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
超低温R14性质
R14是无色无臭无味不燃的易压缩性气体。微溶于水。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。
R14制冷剂参数
| 冷媒名称 | R-14 |
| 分子量 | 88.0 |
| 沸点（1atm），℃ | -128 |
| 临界温度，℃ | -45.67 |
| 临界压力，kPa | 3740 |
| 饱和蒸气压（25℃），kPa | 3650（-45.6℃） |
| 汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg135.7 | 135.7 |
| 破坏臭氧潜能值（ODP） | 0 |
| 全球变暖潜能值(GWP，100 yr) | 5700 |
| ASHRAE安全级别 | A1（无毒不可燃） |