碳酰氟，又名羰基氟、氟光气，是一种化学物质，化学式为COF2，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。
碳酰氟(Carbonyl fluoride)，也被称为氟化酰基，化学式为COF2。它是一种无色、有刺激性气味的气体。
碳酰氟是一种有机氟化合物，具有一些特殊的应用和化学性质。以下是一些常见的用途和特点：
1. 化学合成：碳酰氟可以作为一种重要的化学试剂，用于有机合成反应中。它可以与醇、胺等化合物反应，生成相应的酯、酰胺等产物。
2. 杀虫剂：碳酰氟具有杀虫活性，可用于农业和园艺领域作为杀虫剂。它可以有效地控制一些害虫的生长和繁殖。
3. 医药领域：碳酰氟在医药领域中也有应用，例如作为药物合成中的中间体或反应试剂。
需要注意的是，碳酰氟是一种有毒气体，对人体和环境有潜在的危害。