R41制冷剂
产品分类
创弗
产品更新
2022-09-07 10:39:55
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R41制冷剂,中文名称一氟甲烷、氟甲烷、甲基氟,是一种生产氟溴甲烷的原料。
R41制冷剂用途
高纯HFC-41气体是一种绿色、高效的新型蚀刻气,可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜,常用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。
R41制冷剂参数
| 名称:R409B,HCFC-409B | 分类:混合制冷剂 |
| 分子量:96.5 | 摩尔质量:96.5g/mol |
| 沸点:-36.5℃ | 临界温度:107℃ |
| 临界压力:4.7MPa | 临界密度:0.51g/cm3 |
| 破坏臭氧潜能值:0.033 | CAS编号:75-45-6/2837-89-0/75-68-3 |

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