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R116六氟乙烷MSDS安全技术说明书

来源:未知 发布时间:2020-08-27热度:
R116(六氟乙烷,C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。R116可与R23(三...

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